Avec sa finesse d'analyse de 3 µm, le système d'analyse Microlibs permet de réaliser des cartographies élémentaires micrométriques. L'accès à l'analyse de tous les éléments, y compris des éléments légers, autorise des analyses cartographiques difficilement accessibles voire même impossibles avec d'autres techniques.

Sa facilité d'emploi et sa grande rapidité permettent d'effectuer une cartographie complète d'un échantillon en quelques minutes.